電子無塵車間靜電的控制可分為兩類：高濕度實際上減少了無塵車間和潔凈室表面靜電的積累，是理想的效果。較低的濕度更適合電荷積聚和潛在的破壞性靜電釋放源。

　　當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但當相對濕度小于30%時，靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上存在。

　　相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折衷方案。電子無塵車間和潔凈室一般采用附加的控制裝置來限制靜電的積聚。隨著相對濕度的增加，包括腐蝕過程在內的許多化學反應的速率都會增加。電子無塵車間和潔凈室周圍暴露在空氣中的所有表面都迅速覆蓋至少一層水。當這些表面由能與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度會加速反應。幸運的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護性氧化層，防止進一步氧化；但另一種情況，如氧化銅，不具有保護性，因此銅表面在高濕度環境中更容易受到腐蝕。

　　電子無塵車間的溫濕度控制主要是由于其生產工藝的要求：

　　在電子工業中，制造車間是產生靜電的重要場所。通常情況下，靜電會導致產品短路，甚至導致工作人員導電暈厥事故。因此，電子工業無塵車間的相對濕度不應小于30%，可以減少靜電的產生。一般建議無塵車間防靜電區域的相對濕度不低于50%。干燥空氣過多容易揚塵。電子廠無塵車間無特殊要求，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55%-60%相對濕度。在這種環境中，人們感到舒適，靜電消失了。